長春國科精密光學(xué)技術(shù)有限公司上海分公司致力于光刻機(jī)照明系統(tǒng)的研發(fā)、制造和技術(shù)服務(wù)。上海分公司在復(fù)雜非成像光學(xué)系統(tǒng)整體設(shè)計與仿真、深紫外激光光束整形與控制、照明光場均勻化與校正、深紫外激光脈沖能量探測等領(lǐng)域的技術(shù)水平處于國內(nèi)領(lǐng)先地位。上海分公司長期從事光機(jī)電算一體化技術(shù)、儀器設(shè)備的研發(fā)與產(chǎn)品化,尤其在深紫外光學(xué)技術(shù)方面,擁有豐富的技術(shù)經(jīng)驗。
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